펌핑 속도: 100 m³/h
전원 공급: 200~230 V AC, 50/60 Hz (3상, Low Voltage 버전)
최종 진공도:
가스 밸러스트 없음 기준: 6.6 × 10⁻³ hPa (4.95 × 10⁻³ Torr)
소비 전력:
대기 상태: 0.5 ~ 1.2 kW
최종 진공 시: 1.6 kW
냉각 방식: 수냉식 (Water Cooling)
냉각수 유량: 최소 96 L/h
냉각수 연결: 1/4'' NPT 퀵커넥트 (In/Out)
최대 연속 유입 유량: 20 slpm (0°C 기준)
사이클 주기: 최대 40초 (25L 기준 챔버에서)
진동 성능 (입구 플랜지 기준):
속도: 1 mm/s (10–1000 Hz)
변위: 1.5 µm (10–1000 Hz)
인터페이스: 16핀 SPI 커넥터
소음 수준: 58 dB(A)
플랜지 규격:
입구: DN 50 ISO-KF
출구: DN 25 ISO-KF
중량: 100 kg
크기 (L × W × H): 814 × 374 × 398 mm