사용 조건 압력 : 1 x 10-4 mbar 이하

고진공 전용 RGA

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    REAL-GA

    Mass Range (질량 범위):
    100 / 200 / 300 amu

    감도 (Sensitivity):Faraday cup: 5 × 10⁻⁴ A/torr

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    QMG250

    Mass Range: 100/200/300 amu

    Sensitivity (Ar 기준): Faraday: 4 × 10⁻⁴ A/hPa

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    WRA 100/200/300S

    Mass Range : 100/200/300amu

    Sensitivity : 2.5 × 10⁻⁴ A/mbar (Faraday)

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사용 조건 압력 : 10 mbar 이하

저진공 전용 RGA

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    RT-STLA

    저진공 영역에서 실시간 자동 분석이 가능한 RGA 시스템 – 공정 연동, 데이터 저장 및 보고서 자동 생성 기능을 제공합니다.

    전용 프로그램 및 PC 제공

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  • 저진공 rga1.jpg
    RT-STL

    저진공 환경에서 사용 가능한 반자동 RGA 시스템 – DI 기반 신호 감지 및 자체 제어 기능을 갖춘 효율적인 분석 솔루션입니다.

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사용 조건 압력 : 500~1500mbar

대기압 RGA system

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    RT-STA

    500~1500 hPa 범위의 대기압 조건에서 안정적으로 동작하며, 미량의 가스 성분까지 정밀하게 분석할 수 있는 고감도 RGA 시스템입니다.

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  • dilution system3.jpg
    Dillution system

    RT-STA와 연동되는 다일루션 시스템으로 다양한 가스 농도 조절 및 정량 분석을 자동화합니다.

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  • rt_sta2 카트 포함.jpg
    RT-STA C (옵션- 이동 카트 및 Touch cover)

    이동이 편리한 전용 카트와 PLC 터치 커버가 기본 장착되어, 설치와 운용이 더욱 간편합니다.
    현장 대응력과 작업 효율성을 높여주는 실용적인 디자인이 적용되었습니다.

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