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하이브리드 베어링이 장착된 터보 펌프
하이브리드 베어링이 장착된 터보 펌프는 전진공 측의 세라믹 볼 베어링과 고진공 측의 영구 자석 베어링의 조합을 특징으로 합니다. 이 조합은 매우 견고하고 깨끗한 로터 베어링 배열을 제공합니다. 통합된 작동 유체 저장소를 통해 로터는 쉽게 열을 발산하고 안정적으로 작동할 수 있습니다. 마모 입자는 작동 유체 저장소를 통해 필터링되어 총 사용 수명이 늘어납니다. 하이브리드 베어링의 발명가인 Pfeiffer는 이 고효율 베어링 기술 선구자입니다. 40년의 제조 경험을 되돌아보면 당사의 하이브리드 베어링 터보 펌프의 품질을 신뢰할 수 있습니다.
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자기 부상 터보 펌프
자기 부상 터보 펌프는 전자석에 의해 서스펜션에 고정된 로터와, 로터와 외부 케이싱 사이에 기계적 접촉점이 없도록 보장하는 디지털 전자 제어 시스템을 갖추고 있습니다. 또한, 정전 시 로터가 비상 베어링에 단단히 안착할 때까지 터보 펌프 자체의 회전 에너지로 전력이 공급됩니다. 이러한 기능은 로터의 조기 마모를 방지하고 전체 서비스 수명 동안 유지보수 없이 사용할 수 있도록 해줍니다. 또한 자기 베어링 터보 펌프에는 윤활유가 필요하지 않으므로 탄화수소 오염 위험이 없습니다.
제품정보 더보기
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HiPace® 10 Neo
DN 40세계 최소형 터보 펌프 시리즈
N2 펌핑 속도가 10 l/s인 견고한 고성능 터보 펌프
DN 40 커넥터
24 V 공급 전원을 가진 통합형 드라이브 전자장치
모바일 사용 가능
추가적인 냉각이 필요하지 않음
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HiPace® 30 Neo DN40
DN63-CF, KN2 펌핑 속도가 최대 32 l/s인 컴팩트한 고성능 터보 펌프
같은 펌핑속도 클래스 중 가장 높은 압축비
작은 분석시스템을 통한 간편한 통합
저중량, 휴대용 응용 분야에 적합
긴 사용수명과 긴 정비주기
모든 방향에서 설치
TC 80 통합형 전자 드라이브 유닛
광범위한 액세서리로 사용 범위가 넓습니다
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SplitFlow™ 50
DN63 CF, ISO-FHiPace 기술에 기초한 고성능 소형 터보 펌프
N2 펌핑 속도가 고진공 플랜지에서는 최대 53 l/s이고, 중간 배기구에서는 0.15 l/s입니다.
TC 110 통합형 전자 드라이브 유닛
모든 방향에서 설치
누출 감지 및 질량 분광 분석 같은 분석 응용 분야에 적합
광범위한 액세서리로 사용 범위가 넓습니다
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HiPace® 60
DN 63 ISO-KN2 최대 펌핑 속도가 64 l/s이고 Holweck 단계가 없는 소형 고성능 터보 분자 펌프
TC 110 통합형 전자 드라이브 유닛
모든 방향에서 설치
간편하고 신뢰성 높은 시스템 통합
프로세스에 적합함, 즉 먼지에 대해 내구력이 있음
광범위한 액세서리로 사용 범위가 넓습니다
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HiPace® 80 neo
DN40 KF, DN63 CF, ISO-KN2 펌핑 속도가 최대 67 l/s인 컴팩트한 고성능 터보 펌프
TC 80 통합형 전자 드라이브 유닛
모든 방향에서 설치
신뢰성이 높은 시스템 통합에 이상적임
광범위한 액세서리로 사용 범위가 넓습니다
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HiPace® 300, TC 110
DN 100 ISO-K, DFN2 펌핑 속도가 최대 260 l/s인 견고한 고성능 터보 펌프
TC 110 통합형 전자 드라이브 유닛
분석 및 산업 응용분야에 이상적임
모든 방향에서 설치
광범위한 액세서리로 사용 범위가 넓습니다
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HiPace® 300, TC 400
DN 100 ISO-K, CF , K 48 V DCN2 펌핑 속도가 최대 260 l/s인 견고한 고성능 터보 펌프
통합형 드라이브 전자장치 TC 400
분석 및 산업 응용분야에 이상적임
모든 방향에서 설치
최대 가스량을 위한 통합형 수냉식 냉각장치 있음
최대 4개의 액세서리 부품 사용으로 유연함
빠른 사이클에 적합
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HiPace® 450 with TC 400
DN 160 ISO-K, 48 V DCN2 펌핑 속도가 최대 380 l/s인 견고한 고성능 터보 펌프
컴팩트, 강력
경질 가스용 우수한 펌핑 속도
레이저 밸런싱 기술
모든 방향에서 설치
통합형 드라이브 전자장치 TC 400
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HiPace® 700
DC160 CF, DN160 ISO-K, -FN2 펌핑 속도가 최대 685 l/s인 작지만 강력한 터보 펌프
최소 전력 소비량으로 최대 진공 성능 제공
모든 방향에서 설치
통합형 드라이브 전자장치 TC 400
강력한 통합형 냉각 시스템
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TC 1200-equipped HiPace® 1200
DN 200 ISO-K, CF-F, ISO-FN2 펌핑 속도가 최대 1,250 l/s인 고성능 터보 펌프
DN 200 ISO-K, CF, F 플랜지
어댑터가 있는 통합형 드라이브 전자장치 TC 1200
냉각 방법: 수냉 장치
전기 밀봉 가스 밸브를 장착한 통합 밀봉 가스 시스템, 24 V DC
보호 등급: IP54
인터페이스: RS-485, 원격(요청에 따라 Profibus/DeviceNet 공급 가능)
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HiPace® 2300, TC 1200 포함,
DN 250 ISO-KN2 펌핑 속도가 최대 1,800 l/s인 고성능 터보 펌프
DN 200 ISO-K, CF, F 플랜지
어댑터가 있는 통합형 드라이브 전자장치 TC 1200
냉각 방법: 수냉 장치
전기 밀봉 가스 밸브를 장착한 통합 밀봉 가스 시스템, 24 V DC
보호 등급: IP54
인터페이스: RS-485, 원격(요청에 따라 Profibus/DeviceNet 공급 가능)
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HiPace® 2800 IT(TC 1200 포함),
DN 250 ISO-F이온 주입 시스템에 적합
경질 가스용 펌핑 속도에 최적화
니켈 도금 로터가 사용되는 도펀트에 대한 저항력을 보장
지능형 온도 관리 시스템이 공정 응축물 및 퇴적물을 감소
Semi S2 인증 및 UL/CSA 인증
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Pfeiffer vacuum - HiPace M, ATH M(가열기능), ATP M
Edwards vacuum - nEXT M
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TC700이 장착된 HiPace® 300, 700, 800
DN 100, DN 160, DN200HiPace300M : N2 펌핑 속도 255 l/s
HiPace700M : N2 펌핑 속도 685 l/s
HiPace800M : N2 펌핑 속도 790 l/s
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ATH500M
DN 100 ISO-F, 원격, 공냉식, 비가열형
N2 펌핑 속도가 최대 350 l/s이고 Holweck 단계가 있는 5축 자기 부상식 터보 펌프
DN 100 ISO-F 연결 플랜지
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ATH1600MT DN 250 ISO-F, 외부 드라이브 전자 장치, 수냉식, 가열형, 300 WN2 펌핑 속도가 최대 1,400 l/s이고 Holweck 단계가 있는 5축 자기 부상식 터보 펌프
연결 플랜지 DN 250 CF-F
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ATH 2303 M
DN 250 ISO-F, 비가열식
N2 펌핑 속도가 최대 2150 l/s인 Holweck 스테이지를 적용한 5축 자기 부상 터보 펌프
연결 플랜지 DN 250 ISO-F
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ATH 2804 M,
DN 250 ISO-F, 비가열식,N2 펌핑 속도가 최대 2,350 l/s이고 Holweck 단계가 있는 5축 자기 부상식 터보 펌프
연결 플랜지 DN 250 ISO-F
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ATH 3204 M,
DN 320 ISO-F, 비가열식N2 펌핑 속도가 최대 3,050 l/s이고 Holweck 단계가 있는 5축 자기 부상식 터보 펌프
DN 320 ISO-F 연결 플랜지
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자기부상 터보펌프 Edwards 동영상
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