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펌핑 속도 : 50~583 L/min

스크롤 펌프

  • mXDS3

    펌핑 속도: 3.0 m³/h (50 l/min)
    최종 압력: 0.1 mbar (0.075 Torr)
    치수 (L×W×H): 224 × 158 × 231 mm
    무게: 7.8 kg (mXDS3), 8.0 kg (mXDS3s)

  • nXDS 6i

    펌핑 속도: 6.2 m³/h (103 l/min)
    최종 압력: 0.02 mbar (0.015 Torr)
    치수 (L×W×H): 432 × 225 × 285 mm
    무게: 26.2 kg

  • nXDS 10i

    펌핑 속도: 11.4 m³/h (190 l/min)
    최종 압력: 0.007 mbar (0.005 Torr)
    치수 (L×W×H): 432 × 225 × 285 mm
    무게: 25.8 kg

  • nXDS 15i

    펌핑 속도: 15.1 m³/h (252 l/min)
    최종 압력: 0.007 mbar (0.005 Torr)
    치수 (L×W×H): 432 × 225 × 285 mm
    무게: 25.2 kg

  • nXDS 20i

    펌핑 속도: 22.0 m³/h (367 l/min)
    최종 압력: 0.03 mbar (0.022 Torr)
    치수 (L×W×H): 432 × 225 × 285 mm
    무게: 25.6 kg

  • nXDS 35i

    펌핑 속도: 35 m³/h (583 l/min)
    최종 압력: 0.01 mbar (0.008 Torr)
    치수 (L×W×H): 약 476 × 333 × 304 mm
    무게: 48 kg