이 저진공 RGA 시스템은 저진공 환경에서 잔류 가스를 자동 분석하며, 메인 장비와의 연동을 통해 공정에 맞춘 실시간 모니터링을 수행합니다.
자동 측정, 데이터 저장, 분석 결과 기반의 보고서 자동 생성 기능을 갖추고 있어,
반복적인 수작업 없이 완전 자동화된 잔류 가스 관리가 가능합니다.

RS485, Ethernet 등 다양한 통신 인터페이스로 상위 제어 장비와 손쉽게 연결되며,
분석 결과는 내부 저장 또는 외부 서버 전송이 가능하여 데이터 이력 관리 및 추적에도 최적화되어 있습니다.

시스템은 미팅을 통한 고객 현장에 맞춤 제작 됩니다.