WRA 제품 사양

질량 범위 (Mass range): 1–300 amu

질량 필터 타입 (Mass filter type): QMS (Quadrupole Mass Spectrometer)

검출기 타입 (Detector type): EM (전자 증배기) / Faraday Cup

감도 (Sensitivity):
  • EM: 400 A/mbar
  • Faraday: 2.5 × 10⁻⁴ A/mbar

최소 검출 가능한 분압:
  • EM: 1 × 10⁻¹⁵ mbar
  • Faraday: 1 × 10⁻¹¹ mbar

최대 작동 압력: 1 × 10⁻⁴ mbar

필라멘트 재질: Iridium coated with Y₂O₃

작동 온도: 40 °C

Analyzer 최대 온도: 250 °C

베이크아웃 온도 (전자부 제거 시): 300 °C

플랜지 규격: DN40CF

전원 입력: DC 24V ±10%, 50W

무게: 3.21 kg

방수/방진 등급 (IP): IP30

통신 방식: RS485

분해능 (Resolution): M/ΔM = 1M (10% 피크 높이 기준)