▶ Mass Range:
1 –100, 200,300 amu

이 저진공 RGA 시스템은 10 mbar 이하(고객 환경에 맞춤)의 진공 환경에서 잔류 가스 분석이 가능한 반자동 시스템으로,
외부 DI 신호, 수동 모니터링을 수행하며, 설정된 조건에 맞춰 자체적으로 측정 및 제어가 가능합니다.

일정 수준의 프로세스 연동 및 자동화 운용이 가능하여
장비 운영 부담을 줄이고 분석 효율을 높일 수 있습니다.
공정 라인에 쉽게 통합되며, 실시간 모니터링과 이벤트 기반 제어가 필요한 다양한 산업 환경에 적합합니다.