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펌핑 속도: 88 m³/h (펌핑 속도 카테고리: 90 m³/h)

입력 전압: 200~240 V AC (±10%), 50/60 Hz

최대 배기 압력: 1,200 hPa (900 Torr)

최종 진공도:

가스 밸러스트 사용 시: 1 × 10⁻¹ hPa (0.075 Torr)

가스 밸러스트 미사용 시: 3 × 10⁻² hPa (0.0225 Torr)

가스 밸러스트 유량: 4.2 m³/h (70 L/min)

최대 허용 입구 압력: 1,013 hPa

냉각 방식: 공냉식 (강제 공기 순환)

헬륨 리크율: 최대 5 × 10⁻⁶ hPa·l/s 미만

크기 (L×W×H): 671 × 319 × 324 mm

연결 플랜지: 입구 DN 40 ISO-KF / 출구 DN 40 ISO-KF

중량: 75 kg

수증기 처리 능력 (SD 버전): 최대2.4 kg/h

작동 환경 온도: 12~40 °C

이동 방식: 바퀴(Wheels) 장착형, 이동 용이