RT-STA (RGA System)

고성능 대기압 및 저진공 잔류 가스 분석 솔루션

🔹 1. 제품 개요

RT-STA는 대기압(500~1500 hPa)에서 동작하는 고감도 잔류 가스 분석기(RGA) 시스템입니다.
최대 300 amu의 질량 범위를 지원하며, 자동 정량 분석 및 오토 캘리브레이션이 가능하여 다양한 산업 공정 및 연구 환경에 적합합니다.
내장된 **사중극자 질량 분석기(Quadrupole Mass Analyzer)**와 고효율 터보/드라이 펌프 시스템을 통해
높은 감도, 우수한 분해능, 빠른 응답 속도를 제공합니다.

RealTek의 전용 소프트웨어 RealMass 및 다일루션 시스템과의 연동을 통해
정량 분석, 실시간 모니터링, 자동 캘리브레이션까지 구현 가능하며,
반도체, 화학 공정, 금속공학, 환경 분석 등 다양한 산업 분야에서 활용됩니다.

🔧 주요 특징

대기압 및 저진공 범위에서 작동 (500–1500 hPa)

고감도 검출기 (C-SEM / Faraday) 탑재

사중극자 분석기 기반의 정밀한 질량 분석

자동 정량 캘리브레이션 기능 (MFC 및 다일루션 시스템 연동)

실시간 분석, 외부 온도 모니터링 및 반자동 제어

사용자 맞춤형 구성이 가능한 모듈형 설계

📌 주요 적용 분야

반도체 공정 중 가스 모니터링

화학 반응 및 촉매 반응 분석

발효 및 바이오 프로세스 모니터링

레이저 및 진공 공정 내 가스 분석

연료전지 및 환경 오염 물질 모니터링