. 펌프 용량(Capacity & Pumping Speed)

✔ 챔버 조건, 가스 종류, 최종 진공도 등을 반영한 적정 용량 산정

• 챔버 부피 및 공정 가스 유량
  
• 목표 최종 진공도 (e.g. 10⁻⁵, 10⁻⁷ Torr)
  
• 펌프다운 시간 (Pump-down time)
  
• 사용 가스의 분자량 (Light vs Heavy gases)
  
• 필요 시 진공 시뮬레이션
  
  

2. 플랜지 타입(Flange Type) 및 장착 방향

✔ 시스템 구성과 정비성에 영향을 주는 핵심 요소

• CF(ConFlat), ISO-K, ISO-F, KF(NW)
  
• 펌프 장착 방향: 수직/수평 설치 가능 여부
  
  

3. 공정 가스 특성 (Corrosive, Reactive, Condensable)

✔ 가스 종류에 따라 펌프 내구성 및 선택이 달라짐

• 부식성 가스 (Cl₂, F₂, CF₄, HBr 등) → 내식 재질 필수
  
• 응축성 가스 (Water vapor, Oil mist 등) → 히터 or Purge 필요
  
• 가연성 또는 반응성 가스 (H₂, O₃ 등)
  
  

4. 외부 환경 영향 (EMI, 진동, 온도 등)

✔ 민감한 공정 또는 정밀장비 환경 여부

• 전자기장(EMI): 펌프 보호 필요
  
• 진동(Vibration): 측정기기/나노기술용 → 자기부상형 권장
  
• 온도 환경: 펌프 내부 냉각 방식 (Air vs Water) 확인
  
  

5. 베어링 방식 (Hybrid vs Magnetic)

✔ 유지보수 주기, 진동 및 오염 민감성, 가격에 영향

6. 냉각 방식 (Cooling System)

✔ 장시간 운전 시 안정성과 수명에 결정적

• Air Cooling: 설치 간편, 소형 시스템
  
• Water Cooling: 고출력 펌프, 안정성 우수
  

7. 운전 조건 및 컨트롤 시스템

✔ 통합 운전 환경 여부 및 통신 확인

• 펌프 컨트롤러 호환성 (RS485, Profibus, Remote I/O 등)
  
• 자동화 시퀀스 연동 가능 여부
  
• 운전 상태 모니터링 (RPM, 온도, Motor current)
  
• 로컬/원격 제어 여부
  

8. 펌프 수명 및 유지보수 주기

✔ 운영비용(총비용) 관점에서 중요

• Hybrid: 유체 교환 주기, 베어링 교체 주기
  
• Magnetic: 긴 수명, 긴 유지보수 기간
  
  

9. 특수 조건 대응

• 고방사선 환경(Radiation area)
  
• 모바일 시스템 탑재용
  
• 가혹한 열/먼지/화학 환경
  

정리표

항목체크챔버 부피/펌프 용량 확인☐

플랜지 규격/장착 방향☐

공정 가스 특성 분석☐

부식/응축성 여부 확인☐

진동/자기장 환경 점검☐

베어링 방식 선택☐

냉각 방식 ☐

제어 시스템 호환 여부☐

특수 운전 조건 고려 여부☐