정밀한 스크롤 회전 메커니즘을 통해 오일이 없는 고청정 진공을 제공하는 드라이 스크롤 펌프
✔ 저진공에서 안정된 성능
독자적인 스크롤 구조로 1~10⁻² mbar 범위에서 뛰어난 진공 성능 제공 – 연구, 분석, 반도체 공정에 최적
✔ 오일 프리 구조
오일이 전혀 사용되지 않아 진공 챔버 오염 위험이 없으며, 유지보수와 소모품 비용 절감
✔ 저소음, 저진동
정밀 기계 가공된 회전체 구조로 조용하고 진동이 적어 실험실이나 클린룸 환경에 적합
✔ 간편한 유지보수
팁 씰(Tip Seal) 교체만으로 대부분의 유지보수가 가능 – 빠르고 경제적인 관리 가능
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