고정밀 가스 분석을 위한 어플리케이션 장비 전문 제작
당사는 다양한 분석 목적과 공정 환경에 맞는 가스 분석 어플리케이션 장비를 고객 맞춤형으로 설계·제작하고 있습니다.
고진공 기술, 열처리 기술, 계측 솔루션이 통합된 정밀 시스템을 공급합니다.

🧪 제작 가능 장비 종류

TDS (Thermal Desorption Spectroscopy) 장비
→ 시료 가열 시 탈착되는 아웃가스 분석 (RGA 연동)

Ultra-High Vacuum Evolved Gas Analysis

진공 환경에서 시료가 방출하는 가스를 분석하여
밀봉 소자, 마이크로일렉트로닉 패키지의 신뢰성, 수명, 품질을 평가하는 데 활용됨

오염 물질 검출: 수분, 수소, 산소, 탄화수소 및 기타 휘발성 물질과 같이 장치 기능을 저하시킬 수 있는 오염 물질을 식별하고 정량화할 수 있습니다.

고장 메커니즘 분석: 방출된 가스를 분석하여 부식, 누전, 수지상 성장 및 기타 휘발성 물질로 인한 문제 등 잠재적 고장 메커니즘을 파악할 수 있도록 합니다.

품질 관리: 제조 공정 중 품질 관리에 사용될 수 있습니다. 열 변화 중 발생할 수 있는 가스의 특성을 분석함으로써, 사용된 재료와 공정이 밀봉된 포장재에 유해한 휘발성 물질을 유입시키지 않는지 확인할 수 있습니다.

공정 개선: 부품 수준에서 베이킹 공정을 시뮬레이션할 수 있습니다. 이 기능을 활용하여 대규모 베이킹에 적합한 효율적인 공정을 설계할 수 있습니다.

CVCM & TML 시험 장비
→ 우주항공·반도체 등 진공 환경용 재료의 아웃가싱 특성 시험

포집가스 정량 분석 시스템
→ 정해진 시간/조건 하에 포집된 가스를 질량 분석기 등으로 정량 분석