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SMART-Spray Operating instructions
Interface Description UL1000 5000
산업용 진공 및 반도체 제조 분야의 진공 누출 테스트 표준
INFICON UL1000 헬륨 누출 탐지기 시리즈는 산업 환경(유밀 밀봉식 전진공 펌프를 사용하는 UL1000) 또는 반도체 환경(건식 압축식 전진공 펌프를 사용하는 UL1000 Fab)에서 경제적인 헬륨 진공 누출 테스트에 있어 널리 인정받는 표준 제품입니다.
UL1000 시리즈는 고성능, 탁월한 내구성, 그리고 경제성을 최적으로 결합한 제품입니다. 최첨단 기술인 10⁻¹² mbar*l/s의 누출 검출 한계를 제공하며, 펌프 다운 시간과 응답 시간 또한 합리적으로 짧습니다. 컴팩트한 설계로 기동성이 뛰어나 공간이 제한된 유지보수 구역에도 쉽게 접근할 수 있습니다. 선택 가능한 배경 억제 기능(iZERO)을 통해 기존 배경 수준보다 최소 20배 낮은 수준에서 연속적인 누출 테스트가 가능합니다.
이러한 기능들을 종합적으로 활용하면 누출 테스트 프로세스의 소요 시간을 단축하는 동시에 모든 누출을 효율적이고 경제적으로 감지할 수 있습니다.
TC1000 테스트 챔버 액세서리가 추가됨에 따라 UL1000 헬륨 누출 검출기 시리즈는 IC 패키지, 석영 결정 및 레이저 다이오드와 같은 밀폐 부품을 쉽고 빠르고 정확하게 테스트할 수 있습니다 (MIL-STD 883, 방법 1014에 따름) .
필수 액세서리: 스마트 스프레이, 스프레이 체크
SMART -Spray 헬륨 분무기는 대형 헬륨 실린더와 번거로운 호스가 필요 없어 누출 점검 효율을 높여줍니다. 수동 헬륨 유량 조절을 줄이고 오류를 최소화하여 점검 과정을 간소화합니다. 이 도구를 사용하면 헬륨 소모량과 배경 잡음 수준을 낮추면서도 누출 감지를 더욱 빠르고 간편하며 정확하게 수행할 수 있습니다. 효율적이고 정밀한 누출 검사에 이상적입니다.
SPRAY-Check는 누출 테스트용 스프레이로, 누출 탐지기의 기능성과 준비 상태를 보장합니다. 10⁻⁹ ~ 10⁻⁸ mbar∙l/s 범위에 적합하며, 테스트 과정 중 신뢰할 수 있는 점검을 제공합니다.
장점
신속한 펌프다운 및 대응 시간을 통해 누출 테스트 노력을 최소화합니다.
선택 가능한 배경 억제(I·ZERO)를 사용하여 여러 번의 누출 테스트 필요성을 방지합니다.
I·CAL(누출률 계산을 위한 지능형 알고리즘)은 모든 측정 범위에서 누출에 대한 가장 빠른 대응 시간을 보장합니다.
기동성이 뛰어난 설계를 통해 공간이 제한된 유지보수 구역에 쉽게 접근할 수 있도록 합니다.
견고한 2개의 고온 필라멘트 이온 소스(3년 보증)와 역류 진공 시스템을 통해 낮은 총 소유 비용(TCO)을 실현했습니다.
회전식 디스플레이, 시각적 및 청각적 누출 표시, 그리고 선택 사양인 원격 제어 기능을 통해 사용이 간편합니다.
내장형 누출 테스트 및 자동 보정 절차를 통해 유지보수가 간편합니다.
이메일을 통한 소프트웨어 업데이트가 간편하게 가능합니다.
내장 소프트웨어 메뉴의 "자동 누출 테스트" 기능을 통해 밀폐 부품의 자동 테스트를 수행할 수 있습니다(TC1000 테스트 챔버 별도 구매).
